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Veeco迎双喜:获针对SGL开始禁令,与ALLOS达到协作

时间:2018-09-11编辑: admin 点击率:

  Veeco迎双喜:获针对SGL开始禁令,与ALLOS达到协作

  

昨日,有机金属化学汽相堆积体系(MOCVD)设备大厂美国维易科(Veeco)宣告,美国纽约东区地方法院赞同了Veeco公司针对SGL Carbon,LLC(SGL)的一项开始禁令恳求,该公司是中微半导体设备有限公司(AMEC)的晶圆承载器供货商。该禁令制止SGL出售供采用了Veeco专利技能的无基座金属有机化学气相堆积体系(MOCVD)运用的晶圆承载器,包含专为AMEC MOCVD体系规划的晶圆承载器。

  

Veeco公司董事长兼首席执行官John R. Peeler说:“这项判定必定了Veeco知识产权及其全球专利组合的实力。Veeco狠抓知识产权作业,并坚决保护其在研制方面的严重出资,包含其在美国,欧洲和亚洲的专利,特别是在我国。”

  

上述判定当即收效,制止SGL在未得到Veeco清晰授权的情况下出货采用了Veeco专利技能的晶圆承载器。这也意味着制止SGL供给用于一切AMEC MOCVD体系的晶圆承载器。法院还判定,虽然SGL有相反的观点,Veeco公司有关“无基座MOCVD反响堆运用的Veeco晶圆载体专利遭到SGL的侵略且该专利有用”的宣称得到认同的可能性很大。SGL从前辩称,其晶圆承载器是根据AMEC的标准。这项判定显现,AMEC不尊重Veeco的知识产权。在专利案子中,开始禁令是很稀有的,由于在陪审团对专利侵权作出判定之前公布禁售令有十分严厉的法令要求。因而,这一判定显现了SGL和AMEC侵略Veeco知识产权的清晰性质。

  

Veeco于2017年4月12日在纽约东区的联邦法院对SGL Carbon,LLC和SGL Carbon SE展开了专利侵权诉讼。SGL出产用于无基座MOCVD体系的晶圆承载器。除了暂时禁令之外,Veeco正在寻求永久性禁令以及经济补偿等。

  

此外, Veeco公司11月1日宣告和ALLOS Semiconductors(ALLOS)达成了一项战略行动,展现了200mm硅基氮化镓晶圆用于蓝/绿光micro-LED 的出产。维易科和ALLOS协作将其专有外延技能转移到 Propel单晶圆MOCVD体系,从而在现有的硅出产线上完成出产micro-LED。

  

“运用Propel反响腔,咱们就具有了一项MOCVD技能,这项技能可以完成高产值的GaN外延,满意在200毫米硅出产线上出产micro-LED器材的一切要求,” ALLOS Semiconductor的首席执行官Burkhard Slischka 这样说。“不到一个月时刻咱们就已经在Propel上对咱们的技能进行了验证,而且取得了无裂纹、无回熔的晶圆,2018政务V影响力峰会举行 浦北县宣翘曲度低于30微米,晶体质量高,厚度均匀性优异,波长均匀性小于1纳米。同Veeco携手,ALLOS期待着将该技能在micro-LED工业中更为推行。”

  

Micro-LED显现技能由<30x30平方微米的红、绿和蓝(RGB)无机LED组成,这些LED被转化为显现屏背板,以构成亚像素。与有机LED(OLED)和液晶显现(LCD)比较,这些高效的LED直接发射功耗更低,却可认为移动显现器、电视和可穿戴式计算机供给优异的亮度和对比度。Micro-LED 的制作要求优质、博天堂app!均匀的外延晶圆,以满意显现屏的产值和本钱操控的要求。

  

“和竞争对手的MOCVD渠道比较, Veeco的TurboDisc技能供给的制程窗口更大,因而Propel能提一流的均匀性一起还能取得优秀的膜质量,”维易科高档副总裁兼MOCVD运营总经理Peo Hansson博士这样说。“将Veeco抢先的MOCVD专业技能和 ALLOS的硅基氮化镓外延晶片技能相结合,使咱们客户可以开宣布低本钱的micro-LED,以便于在新的商场中开辟新的使用。”

  

   VeecoSGLmicro-LED 出产

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